高性能殘余氣體分析儀 （RGA） 光譜儀 MPH介紹

發(fā)布日期：2023-05-22      瀏覽次數(shù)：2226

高性能殘余氣體分析儀 （RGA） 光譜儀 MPH介紹

特點 

?每點1.1ms的超高速數(shù)據(jù)采集（模擬掃描，選擇性峰值） 

?標準校準器（可選） 

?可進行TCP/IP以太網(wǎng)連接 ?雙燈絲 （8）
?可現(xiàn)場更換的二次電子倍增管 

?結(jié)合陽極、陰極和排斥電極的燈絲套件 

?小型傳感器將安裝空間降至低 

?2位動態(tài)范圍
?MDPP（最小檢測部分電壓）為<2.9E-2Pa（7amu） <b13> 

?提高信噪比 

?無需匹配傳感器和控制單元（SCU） 

?通過雙重包裝在潔凈室環(huán)境中進行組裝、檢查和運輸 

?符合RoHS標準



新設(shè)計的傳感器提高了平均故障時間，降低了運行成本 Transspector MPH的離子源由兩根燈絲組成，它們結(jié)合了陽極，陰極和驅(qū)蟲器電極。 雙燈絲設(shè)計，使用主和備用，允許傳感器長時間使用，避免災難性的系統(tǒng)故障。 Transpector MPH 還允許您為您的應用選擇合適的燈絲（鎢用于含鹵素工藝，釔涂層銥用于含氧工藝），因此該工藝不會縮短燈絲的使用壽命。

更換顯影器MPH的燈絲相當于更換傳統(tǒng)RGA的整個離子源。 維護點的減少大大降低了總成本。 Transpector MPH 通過用燈絲代替離子源來延長 RGA 的使用壽命和靈敏度，這些燈絲通常會因長期使用而受到污染。

該傳感器還為可現(xiàn)場更換的二次電子倍增管（EM）（如果配備二次電子倍增管）增加了價值。 在日常維護期間，EM可以在現(xiàn)場快速更換。 新的二次電子倍增管進一步提高了法拉第杯（FC）的靈敏度，并有助于其使用壽命。